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納米壓痕測(cè)試儀 (NHT3)
儀器簡(jiǎn)介：
市場(chǎng)上功能多且簡(jiǎn)單易用的納米壓痕測(cè)試儀
NHT3 專為納米級(jí)位移測(cè)量提供小載荷，可用于測(cè)試硬度、彈性模量和蠕變等。其范圍涵蓋小載荷 (0.1 mN) 至大載荷 (500 mN)，可在載荷范圍內(nèi)提供zui大的通用性。由于獨(dú)特的表面參比技術(shù)，無(wú)需等待其達(dá)到熱穩(wěn)定狀態(tài)，立即完成壓痕測(cè)試。全新“快速點(diǎn)陣”壓痕模式可以進(jìn)行一系列快速的測(cè)量（每小時(shí)測(cè)試量高達(dá) 600 個(gè)壓痕）。
主要特點(diǎn)：
●簡(jiǎn)單易用的納米壓痕測(cè)試儀
?直觀易用的軟件：用簡(jiǎn)單的參數(shù)（*大載荷）、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析和保存的測(cè)試模板輕松開(kāi)始測(cè)試
?適用于表面的不同放大倍數(shù)的多物鏡視頻顯微鏡
?堅(jiān)固耐用的納米壓痕測(cè)試儀：參比環(huán)保護(hù)壓痕針尖不受碰撞
●“快速點(diǎn)陣”壓痕模式帶“模板”模式
?快速且符合要求：按照儀器化壓入測(cè)試 (IIT) 的 ISO14577 標(biāo)準(zhǔn)要求，“快速點(diǎn)陣”壓痕模式每小時(shí)測(cè)試壓痕數(shù)目高達(dá) 600個(gè)
?全新“模板”模式讓您可以用導(dǎo)出的數(shù)據(jù)創(chuàng)建一個(gè)自定義模板，從而更靈活快速的分析數(shù)據(jù)
?多樣品臺(tái)夾具用于自動(dòng)測(cè)試，6 樣品夾具*多可固定 6 個(gè)樣品，自定義樣品夾具可固定更多樣品
●采用獨(dú)特的表面參比設(shè)計(jì)，**高精度的位移測(cè)量
?表面參比為材料壓入位移提供恒定參考（相對(duì)于樣品表面）
?高載荷框架剛度 (107 N/m) 為納米壓痕測(cè)量提供高準(zhǔn)確度和精 確度
●測(cè)量的高穩(wěn)定性
?采用主動(dòng)表面參比技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)納米壓痕測(cè)量中的高熱穩(wěn)定性（原始熱漂移率 <0.05 nm/s）
?框架使用定制的人造花崗巖來(lái)提高穩(wěn)定性
?采用低熱膨脹系數(shù) (10-6/°C) Macor材料的獨(dú)特設(shè)計(jì)**高熱穩(wěn)定性
?法向力反饋控制
?利用差分電容測(cè)量壓痕位移
●可用于多種分析模式的多種測(cè)試模式
?多種測(cè)試模式：正弦模式、連續(xù)周期 (CMC)、恒定應(yīng)變速率、用戶自定義、上等點(diǎn)陣和多樣品方案、載荷和位移控制模式
?各種機(jī)械性能的多種分析模式：硬度 (HIT、HV、HM)、彈性模量、儲(chǔ)能和損耗模量、蠕變、應(yīng)力 - 應(yīng)變曲線
?使用標(biāo)準(zhǔn)壓痕針尖可在液體環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量
典型應(yīng)用：
¨硬質(zhì)涂層（PVD、CVD 涂層）：厚度范圍為 1 微米至 20 微米
¨冶金：金屬、合金及其微結(jié)構(gòu)（相、雜質(zhì)等）表征
¨聚合物薄膜基體上氧化物涂層的納米壓痕測(cè)量
¨膠凝材料的機(jī)械性能
¨儀器化壓痕熱噴涂涂料的表征
技術(shù)指標(biāo)：
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載荷 |
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*大載荷 |
500 mN |
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分辨率 |
0.02 μN(yùn) |
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本底噪音 |
<0.5 [rms] [μN(yùn)]* |
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位移 |
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*大位移 |
200 μm |
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分辨率 |
0.01 nm |
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本底噪音 |
<0.01 [rms] [nN]* |
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載荷框架剛度 |
> 107 N/m |
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**標(biāo)準(zhǔn) |
ISO 14577, ASTM E2546 |
***實(shí)驗(yàn)室條件下規(guī)定的本底噪音值，并使用減震臺(tái)。
